MOCVD技術要點

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MOCVD介紹(已改)
MOCVD介紹(已改) MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。 Metal-organic Chemical Vapor Deposition (金屬有機化合物化學氣相沉淀)。
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